第229章 步进式光刻机成功！

第229章 步进式光刻机成功！ (第2/2页)

晶体管那时还无需“流片”，而到了集成电路这块，流片算是整个集成电路成不成功的决定性标志。
　　
　　尤其是越大规模的集成，“流片”的难度也会以指数级上升！
　　
　　…
　　
　　五天后，国庆的庆典在首都刚过。
　　
　　今年沈永健同样受到了邀请，只是因为流片的掩膜版工作原因，最终是放弃了出席。
　　
　　好在首都微电子厂还有张厂长作为代表前去出席，同时厂里的二代电视机也再次成为献礼产品。
　　
　　一连三年，微电子厂已然成为献礼专业户。
　　
　　当然，今年国庆献礼之中最亮眼的并非是电视机或者冰箱这种家用电器，而是国内重工业的又一项突破，红旗轿车！
　　
　　报纸和新闻眼下的话题也全在这款自主生产的汽车上。
　　
　　只是外界的一些纷纷扰扰，此刻都没法打扰沈永健的工作思绪。
　　
　　今日的保密研制车间内。
　　
　　那台银色的庞大机器还在由数人连班接力，日夜不停进行测试。
　　
　　其中套刻精度测试已经在今早完成。
　　
　　这会儿上午八点多，研发处的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此处。
　　
　　当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时，屋外沈永健也带着周克勤等人踏入。
　　
　　卓邵文才将数据记录，目光便立刻望向他，干裂的嘴唇动了动，带着振奋的沙哑声线在车间内响起。
　　
　　“畸变率0.12%，场曲误差±0.18微米…”
　　
　　“沈工！畸变与场曲测试，照明均匀性测试皆达标！”
　　
　　沈永健接过他手中递来的测试报告数据，一共五项检测，数据悉数达标，甚至个别几项还超过了他设计时的理论预期。
　　
　　在反复检测之后，沈永健最终点了点头。
　　
　　在众人希冀的目光下，最终振奋且坚定的开口宣布道。
　　
　　“同志们，咱们第二代步进式光刻机，研制完成！”
　　
　　“依照目前的光刻机性能，绝对是国际第一！”
　　
　　步进式光刻机，一个划时代的光刻机。
　　
　　在眼下国际上还只有接触式光刻机，甚至发达国家的个别研究所还在用“土光刻机”的背景下。
　　
　　这台步进式光刻机，绝对是里程碑式的进步。
　　
　　代表着国内光刻工艺第一次超越各国，坐上国际第一的位置上！
　　
　　“呼~！”
　　
　　卓邵文当下长舒了口气。
　　
　　光刻机的重压一直由他担着，四个月的各单位组织联系，协调生产与检测工作。
　　
　　直到今天，在沈永健这个眼下国内微电子领域的权威者口中宣布落成。
　　
　　当下最先感到的是一阵轻松，原先挺直绷紧的脊背也随着长叹松懈下来。
　　
　　从最早的土光刻机，到如今的第二代光刻机，他早已将研究重心全放在这一块上。
　　
　　哪怕实际二代光刻机的图纸并非是他主导，但能辅助设计最终由自己落实，他心中也早已满足。
　　
　　松懈下不过片刻，心中一股自豪感油然而生！
　　
　　双拳紧紧攥着，目光再度投向沈永健。
　　
　　只是沈永健这会儿可没像他这般放松，只是等众人稍稍缓和后便立刻下达指令道。
　　
　　“准备流片！”
　　
　　……